产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器

典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。

设计特点：
－刚性金属结构
－流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm 
－最大压力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦气
－NIST系统标定可追踪的证明
－可倾斜的LCD读表
－0-5Vdc或4-20mA信号输出
－电路保护
－可用作便携式的设备
－0到100％比例显示
－可配备流量计算机
精度：±1.5％满量程，包括59℉到77℉的气体温度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（标定精度），在给定的温度与压力值条件下。
重复性：±0.5％满量程
回应时间：实际流速±2％超过满量程25-100％一般2秒
温度系数：0.15％满量程／℃
压力系数：0.01％满量程／psi（0.07bar）
气体／周围温度：32℉-122℉（5℃-50℃）
输出信号：0-5Vdc，最小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻
传感器输出：＋12Vdc；最大200Ω。＋24Vdc可选
时间恒量：800ms 

气体压力：最大1000psig（70bar）。可选20psig（1.4bar）
流体接触面材质：A：GFC铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环
B：GFC17S，37S，47S，57S，67S，77S不锈钢系列：316不锈钢、氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。
方位灵敏度：水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置
连接：GFC17和37：1／4"卡套螺纹VCR®或1／8"卡套可选（GFC17）
GFC47：3／8"卡套螺纹
GFC57：3／8"卡套螺纹
GFC67：1／2"卡套螺纹
GFC77：3／4"卡套螺纹
VCR®或3／4"卡套可选（GFC77）

        上海欧可电子科技有限公司做为一家专业的高端仪器仪表供应商，自身在美国设有采购中心，针对进口备品特别是欧美产品有着独到的理解和优势，经过几年的技术及人员累积，目前上海欧可电子科技有限公司可以针对产品提供完善的备件，针对产品系列问题可以提供一条龙服务，大大缩短了客户维修等待的时间，欢迎广大用户前来咨询交流咨询热线：021-60402598

相关推荐:

• 

  D6-U200N-W 瞬时继电器，焊接不转

• 

  D8M-U200继电器模块

• 

  D8-U200 继电器 - 插入式，8 极